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第十二章 时间紧迫提前囤积零件（第1页）

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经过了一晚上的休息，隔天一早，林天就迫不及待地亲自前往龙芯国际操刀光掩膜版的生产制作。陈星与曲程没有急着离开魔都，而是共同前去观摩。他们都想看看，林天到底是不是那么全能。龙芯国际实验室内，已经聚集了大批抱着学习态度，前来观看的光刻工程师。面对数十位光刻工程师组成的围观学习人群，林天也没有半点怯场，眼神平静且专注，与前一天吊儿郎当的样子判若两人，轻车熟路地开始了光掩膜版的初步制作。光掩膜版的制作流程与芯片生产同理，同样要经过图形制作与转换、曝光、显影、蚀刻、脱模、清洗、缺陷检查、缺陷修补、出货清洗、贴膜十个主要步骤，但又与芯片生产不同。芯片生产，光刻机曝光，而光掩膜版可不能依靠光刻机曝光，而是需要用到激光电子束直写方式对bna（光掩膜版材料）进行曝光。当正性光刻胶被曝光后，化学结构发生变化，产生光酸，通过显影液作用，被曝光的部分光刻胶溶解，而负性光刻胶被曝光部分结构交联，生成不易溶稳定化学结构，再通过显影液作用，曝光部分得以保留。正所谓！行家一出手，便知有没有！林天前面步骤完全正确，没有半点外行的影子，而且过程行云流水，丝毫没有半点拖沓，像是一位经历过上万次光掩膜版制作的老手，一切都水到渠成。这也让高永明、唐鑫宇，以及一众围观的光刻工程师们打心底佩服，懂光刻机，懂掩膜版，这简直就是全能天才啊！在等待完）f。f

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